Một cảm biến được sử dụng khi đáp ứng các tiêu chí kỹ thuật xác định.

• Độ nhạy: Gia số nhỏ nhất có thể phát hiện
• Mức tuyến tính: Khoảng giá trị được biến đổi có hệ số biến đổi cố định
• Dải biến đổi: Khoảng giá trị biến đổi sử dụng được
• Ảnh hưởng ngược: Khả năng gây thay đổi môi trường
• Mức nhiễu ồn: Tiếng ồn riêng và ảnh hưởng của tác nhân khác lên kết quả
• Sai số xác định: Phụ thuộc độ nhạy và mức nhiễu
• Độ trôi: Sự thay đổi tham số theo thời gian phục vụ hoặc thời gian tồn tại (date).
• Độ trễ: Mức độ đáp ứng với thay đổi của quá trình
• Độ tin cậy: Khả năng làm việc ổn định, chịu những biến động lớn của môi trường như sốc các loại
• Điều kiện môi trường: Dải nhiệt độ, độ ẩm, áp suất,... làm việc được.

Có sự tương đối trong tiêu chí tùy thuộc lĩnh vực áp dụng. Các cảm biến ở các thiết bị số (digital), tức cảm biến logic, thì độ tuyến tính không có nhiều ý nghĩa.